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輝光離子氮化爐的常見(jiàn)故障原因分析

作者:admin 發(fā)布日期: 2022-09-08 二維碼分享
      輝光離子氮化爐在工作過(guò)程中難免出現(xiàn)故障,那么,它的的常見(jiàn)故障原因是什么呢?分析如下。
      現(xiàn)象一:有電壓無(wú)電流
      故障點(diǎn):爐體真空度是否達(dá)到起輝光的真空度;MC-B 控制器弧顯燈、故障燈是否亮;陰陽(yáng)端到爐體是否接觸良好。
      現(xiàn)象二:出爐工件檢驗(yàn)分歧格
      故障點(diǎn):保溫時(shí)間不夠;保溫溫度不是理想的工藝溫度;工件溫度不均勻;氨氣純度不夠或壓力不夠;離子電源老化,頻率發(fā)生變化;真空泵抽氣速度達(dá)不到。
      現(xiàn)象三:頻繁出現(xiàn)故障指示燈亮,設(shè)備無(wú)法正常工作
      故障點(diǎn):用示波器監(jiān)測(cè)兩個(gè)IGBT的VGE信號(hào)是否一致(此時(shí)高壓盡對(duì)不答應(yīng)接通);爐內(nèi)尚未起輝前(電壓500V以下)的故障,通常與電阻的損壞或主回路上所有連線和連接處接觸不良有關(guān);輝光離子氮化爐內(nèi)剛起輝或起輝后常出故障,有以下幾種可能性。
      1)IGBT的吸收回路的電容虛焊或失效、電阻的損壞;
      2)兩個(gè)IGBT電壓的偏差較大。